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特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備，并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，長沙特種氣體，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子。

特種氣體的雜質(zhì)檢測和監(jiān)控

隨著電子特氣的純度越來越高，對分析檢測方法和儀器提出了更高的要求，檢測限從zui早的ppm級已經(jīng)發(fā)展到ppt級。目前國外電子氣體的分析己經(jīng)經(jīng)歷了離線分析、在線分析(on-line)，原位分析(insitu)等幾個階段。對于高純度電子氣體的分析，國外已開發(fā)出系統(tǒng)完整的分析測試方法和現(xiàn)場分析儀器。而由于我國電子特氣行業(yè)一直重生產(chǎn)而輕檢測，因此分析方法和分析儀器同國外廠商相比都比較落后。

氦氣質(zhì)譜檢漏的用方法

氦質(zhì)譜檢漏-真空壓力法，真空壓力法首要應(yīng)用于結(jié)構(gòu)簡略、壓力不是特別高的密封產(chǎn)品，如電磁閥、高壓充氣管道、推進劑貯箱、天線、應(yīng)答機、整星產(chǎn)品等。該辦法檢測靈敏度高，能完成任何工作壓力的漏率檢測，反映被檢件的實在走漏狀況。可是這種檢漏體系雜亂，需求依據(jù)被檢產(chǎn)品的容積和形狀設(shè)計真空密封室，特種氣體供應(yīng)商，在檢漏過程要求確保充氣管道接口無走漏，或者采取特別的結(jié)構(gòu)設(shè)計將一切充氣管道銜接接口放置在真空密封室外部。

選用真空壓力法檢漏時，需求將被檢產(chǎn)品整體放入真空密封室內(nèi)，真空密封室與輔佐抽暇體系和檢漏儀相連，被檢產(chǎn)品的充氣接口經(jīng)過銜接管道引出真空密封室后，再與氦氣源相連，當(dāng)被檢產(chǎn)品外表有漏孔時，特種氣體廠家，氦氣就會經(jīng)過漏孔進入真空密封室，再進入氦質(zhì)譜檢漏儀，然后完成被檢產(chǎn)品總漏率的丈量。

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