特種氣體充裝要點(diǎn)
一、永1久性氣體的充裝
1、專業(yè)培訓(xùn)、持證上崗、遵守規(guī)程。
2、佩戴防護(hù)用品、檢查設(shè)備。
3、對(duì)鋼瓶復(fù)查、檢查氣密性。
4、開(kāi)啟總閥,高純度特種氣體,準(zhǔn)備充氣。
5、充裝時(shí)的檢查。
6、發(fā)現(xiàn)問(wèn)題的處理。
7、壓力大于12.5MPa時(shí),禁止進(jìn)入。
8、確定高充裝壓力。
9、切換總閥,分類堆放好。
基準(zhǔn)溫度:是由氣體產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的基準(zhǔn)充裝標(biāo)準(zhǔn)溫 度。我國(guó)規(guī)定是20℃
氣體混裝的合算從容器輸運(yùn)的安全來(lái)說(shuō),盡量避免與其它氣體混裝。在不得已混裝時(shí),按照下列方法進(jìn)行合算。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng),有些甚至用單瓶系統(tǒng)。所有氣體共用一個(gè)氣體房,特種氣體種類,甚至沒(méi)有氣體房,特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道,或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒(méi)有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。
特種氣體系統(tǒng):
主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
對(duì)于低蒸汽壓氣體(WF6,高純度特種氣體廠家,DCS,BCl3,C5F8,ClF3等),需要考慮鋼瓶加熱,氣體面板加熱,管道伴熱等。為了精1確控制流量,在氣源端一般會(huì)考慮配置的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì),壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇1毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w,應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì),即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn),上海特種氣體,要點(diǎn)對(duì)點(diǎn),中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此,整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配,中間沒(méi)有三通。后管道還要有良好的接地。
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