特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與施工
供氣系統(tǒng)的選擇
常規(guī)供氣系統(tǒng)
常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠,50MW以下的太陽能電池生產(chǎn)線,發(fā)光二極管的芯片工序線以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻,系統(tǒng)配備在滿足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單,節(jié)省投資。
特種氣體采用普通鋼瓶(<50L)供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器,特種氣體種類,彩色觸摸屏;氣體面板采用氣動(dòng)閥門和壓力傳感器,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換,自動(dòng)氮?dú)獯祾?,呼和浩特特種氣體,自動(dòng)真空輔助放空;多重安全防護(hù)措施,特種氣體價(jià)格,泄漏偵測(cè),遠(yuǎn)程緊急切斷;專用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取?/p>
在半導(dǎo)體制造業(yè)中,可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體,大宗氣體是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體,如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導(dǎo)體制造中刻蝕、清洗、外延生長(zhǎng)、離子注入、摻雜、氣相沉積,擴(kuò)散等過程中使用的各種化學(xué)氣體,如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等,又可稱為電子特種氣體。電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,高純度特種氣體,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體。
特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備,并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子。
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