510 1-1.2 He He用于保護(hù)膜暴光以及化學(xué)反應(yīng)等領(lǐng)域。貯存器制造中的石板印刷已開始使用氟化ke激光 密封束激光混合氣 。從光譜上可以看出,對于CH4、CO、CO2,在近紅外、中紅外和遠(yuǎn)紅外區(qū)域都有吸收譜,并且其佳的激光是用中紅外激光;而對于氨氣,遠(yuǎn)紅外激光來測量好。激光氣體傳感器,可應(yīng)用于低量程及全量程測量,其溫度適應(yīng)性可以達(dá)到工業(yè)級別標(biāo)準(zhǔn),廣泛應(yīng)用于煤炭監(jiān)測、地下管廊氣體感知、城市燃?xì)獍踩U霞跋赖戎T多領(lǐng)域。
如果將氦(He)nai(Ne)激光作為1代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆痥e(KrF)激光,可稱為第三代激光。我們必須承認(rèn),氦氣與ya氣相比,確實有比較高的電離率和較低的等離子體形成電壓,但是它的分子重量較小。因此,氦保護(hù)氣需要較大的流速。除了質(zhì)譜儀就只有激光氣體分析儀了。
激體檢測原理:吸收強(qiáng)度和分子的濃度成正比λ0→壽命能夠大于5年,甚至可用10年。激光也會光衰,但由于是多束激光差分,即使有光衰,也不影響精度。激光區(qū)別于普通光源的重要特性之一是它良好的單色性能。從根本上排除了傳統(tǒng)氣體吸收譜技術(shù)測量某一氣體成分時受到氣體中其它成分吸收譜干擾的可能,更能反映待側(cè)成分的實際含量及微小變化。激體在使用釔鋁石榴石激光進(jìn)行焊接時很有幫助。該氣體抑制金屬蒸氣的等離子體中激光束的吸收。
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