特種氣體 specialily gas:用于各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)的薄膜氣體、摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、刻蝕氣體及工藝設(shè)備所使用的氣體。通常包括可燃性氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體、惰性氣體等。在半導(dǎo)體制造過程中涉及的材料眾多,在半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)過程中,從芯片生長到后器件的封裝,幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開電子特種氣體,因此電子特種氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。對特氣的危害性進(jìn)行分析,通過本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測漏,確保系統(tǒng)密閉性。
目前,國內(nèi)共有特種氣體生產(chǎn)企業(yè)達(dá)150余家,多數(shù)企業(yè)生產(chǎn)規(guī)模較小??鐕髽I(yè)已經(jīng)在國內(nèi)投資設(shè)立了眾多合資或獨(dú)資的氣體公司,占國內(nèi)銷售氣體產(chǎn)品市場份額的70%左右。特種氣體是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的,對氣體有特殊要求的純氣,高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。作為基礎(chǔ)化工材料,特種氣體隨著新產(chǎn)品技術(shù)的發(fā)展,應(yīng)用范圍越來越廣泛。為了提高氣體穩(wěn)定性和保質(zhì)期,天然1氣公司已經(jīng)開發(fā)出各種技術(shù),以1小化任何局部活性位點(diǎn)在鋁氣瓶中催化表面的潛在效力,然后再填充特種氣體。
電子特種氣體種類多樣行業(yè)集中度高,細(xì)分領(lǐng)域整合開啟進(jìn)口替代新征程。2016 年全球半導(dǎo)體行業(yè)用電子特種氣體市場規(guī)模達(dá)到 36.8 億美元,同比增長 5.7%;國內(nèi)方面集成電路用電子特種氣體需求約為 25 億元,預(yù)計(jì)到 2020 年將突破 68 億元。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備,一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過流開關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類。滅菌特種氣體的主要成分是環(huán)氧乙1烷(EO)又名氧化1乙烯,環(huán)氧乙1烷可殺滅細(xì)1菌(及其內(nèi)孢子)、霉菌及真1菌,因此可用于消毒一些不能耐受高溫消毒的物品。
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