選擇氣體的注意事項:考慮讓輔助氣體與金屬材料產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),增加工作能力強度,更好進行加工;可以保護聚焦透鏡,防止一些燃燒產(chǎn)物沾污光學(xué)鏡片。準分子氣體如何正確保存?只有在確保容器沒有損壞的情況下才方能繼續(xù)使用,此外,為了確保使用和保存的安全性,每瓶氣體至少要有一定的余壓。準分子氣體的運輸緊急措施:要疏散附近的人員,同時禁止行人來往,不讓靠近。應(yīng)根據(jù)情況,躲避到安全地點。
液態(tài)氣體為淡藍色液體。密度約0.9。沸點-192℃(101.3千帕,760毫米柱)??捎娩撏操A存和運輸。廣泛用作氧氣的來源。將空氣壓縮,并冷卻至低溫,再使之膨脹而得。作用在準分子激光設(shè)備上激發(fā)激光的預(yù)混氣體主要是氟氣和氬氣,以氖氣為平衡氣。采用別純度的原料氣體,采用自動化氣體預(yù)混系統(tǒng)配制,有效降低人為因素影響。
準分子激光氣注意事項:應(yīng)做到勿近火、勿沾油臘、勿爆曬、勿重拋、勿撞擊,嚴禁在氣瓶身上進行引弧或電弧,嚴禁野蠻裝卸。目前準分子激光已廣泛應(yīng)用在臨床醫(yī)學(xué)以及科學(xué)研究與工業(yè)應(yīng)用方面,如:鉆孔、標記表面處理、激光化學(xué)氣相沉積,物理氣相沉積,磁頭與光學(xué)鏡片和硅晶圓的清潔等方面,微機電系統(tǒng)相關(guān)的微制造技術(shù).準分子激光氣體一般指準分子激光。準分子激光是指受到電子束激發(fā)的惰性氣體和鹵素氣體結(jié)合的混合氣體形成的分子向其基態(tài)躍遷時發(fā)射所產(chǎn)生的激光。
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