中性原子激光中,常見的是氦氖激光。它的紅光尤其為我們所熟悉。它的光色顯著,所以常用作非可見光激光中的指引光束(Guiding beam)。其優(yōu)越的同調(diào)性及方便的操作條件(只須氣冷、110V的電壓、價格相對地),使它廣用于掃描讀碼設備及全像等。氣體激光(Gaseous laser),以氣體為自動介質(zhì)的激光中,包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準分子激光。激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進行干燥處理,防止污染混合氣。
如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導體制造領域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光,可稱為第三代激光。激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業(yè)氧氣,當切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體,一般壓力要求比較高。目元激光混合氣體的方案組成比例:CO:4%,CO2:8%,He:28%,N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機床達到輸出功率,并且切割鋼板厚度達到25mm,還可以更好的保證工件質(zhì)量。
Au,Cu,Ba,Sn,Pb,Zn等金屬的蒸汽,都是中性原子激光的自動介質(zhì)。它們的蒸汽中,?;烊氲蛪毫Φ亩栊詺怏w,以提高放電效率。激光切割機用的激光混合氣體,二維激光切割機床用的四元激光混合氣體,主要用于鋼材的鈑金加工。重要的準分子激光,以稀有氣體的鹵化物為自動介質(zhì),如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標表示,所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準分子不會天然出現(xiàn),而是在氣體混合物中放電時形成的。
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