如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光,二氧化碳激光是第二代氣體激光,在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光,可稱為第三代激光。氣體激光器的重要特點(diǎn)之一,激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體因此,對(duì)激光混合氣組分的純度有著特殊要求,包裝混合氣的鋼瓶,充裝前也必須進(jìn)行干燥處理,防止污染混合氣。稀有氣體離子激光中,以氬離子激光及氪離子激光為常見(jiàn)。除了直接使用之外,氬離子激光常以其紫外線及藍(lán)綠光激起染料激光。
20W機(jī)型可發(fā)生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見(jiàn)光波長(zhǎng)分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍(lán)綠光波段中,而的是514.5及488 nm。氪離子激光可發(fā)生337.4至799.3 nm,的是647.1 nm,其次為413.1及530.9 nm。產(chǎn)品中,有將氬氣與氪氣混合的機(jī)型。氣體激光(Gaseous laser),以氣體為自動(dòng)介質(zhì)的激光中,包含中性原子激光、離子氣體激光、金屬蒸汽激光、分子氣體激光、準(zhǔn)分子激光。準(zhǔn)分子(Excimer)激光:準(zhǔn)分子一詞的本意,是「兩個(gè)同種原子組成,而只存在于受激態(tài)的分子」,如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等;其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術(shù)語(yǔ)。現(xiàn)在現(xiàn)已將它的適用范圍放寬,以包含「不存在于基態(tài),只以受激態(tài)出現(xiàn)的任何雙原子分子(有時(shí)還包含三原子分子)」。
激光切割領(lǐng)域較長(zhǎng)使用的二氧化碳激光混合氣體,這里二氧化碳就是產(chǎn)生激光作用的主導(dǎo)氣體。二氧化碳激光混合氣體目前存在切割線粗,毛邊多,并且切割鋼板的厚度很有限,一般都在10mm左右。中性原子激光與離子氣體激光的差別,在于前者的激光光來(lái)自中性原子能階之間的躍遷,后者是離子的能階( 如Ar+,Kr+ )間之躍遷。因此,氬激光(Argon laser)與氬離子激光(Argon ion laser)并不相同,前者的激光光波長(zhǎng)屬于紅外線波段,后者則在可見(jiàn)光和紫外線區(qū)。一方面氬激光很少見(jiàn),另一方面為了便于稱號(hào),人們常將氬離子激光簡(jiǎn)稱為氬激光。不光中文敘說(shuō)如此,英文文獻(xiàn)亦見(jiàn)此用法,所以在不致混雜的時(shí)候,仍可用氬激光稱號(hào)氬離子激光。
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