特種氣體是指稀有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫(yī)1藥、電子及石油化工在內的許多行業(yè)都會受益于特種氣體的獨特性質,它有助于提高產量、優(yōu)化性能以及降低成本。隨著國產化的推進,部分種類的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應,占據市場半壁江山。一些常規(guī)的特氣產品,中國的產能甚至可以滿足全球范圍內的需要,但需清醒的看到,從核心競爭力,質量管理,品牌效應方面來說,我們仍然處于低水平區(qū)間。根據有關數據顯示,中國特種功能電子氣體市場規(guī)模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規(guī)模約為98億元左右。值得關注的是,從產業(yè)鏈以及技術層面歐美國家占據較好的地位。
特種氣體屬于工業(yè)氣體的一種。工業(yè)氣體是現代工業(yè)重要的基礎原料,根據不同氣體的生產工藝和用途,可以將工業(yè)氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產業(yè),由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。
特種氣體廣泛應用于半導體制造行業(yè),是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產不可缺少的原材料,它們主要應用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業(yè)中應用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20~30 種。特種氣體興起于60年代中期,作為基礎化工材料,主要運用于大型石油化工、半導體器件、光導纖維、激光、臨床診斷、水果催熟、食品保鮮等領域。隨著新產品技術的發(fā)展,其應用范圍也越來越廣泛。
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