準(zhǔn)分子激光由Nikolai Basov, V. A. Danilychev 和 Yu. M. Popov等人于1970在莫斯科物理研究所發(fā)明。使用電子束激發(fā)氙氣二聚體,產(chǎn)生的準(zhǔn)分子激光波長為172nm。
1975年包括美國政府的海1軍研究實(shí)驗(yàn)室、諾思羅普研究和技術(shù)中心,Avco Everett研究實(shí)驗(yàn)室,成都準(zhǔn)分子預(yù)混氣,和美國桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室在內(nèi)的多家政府研究機(jī)構(gòu)研究利用電子束激發(fā)惰性氣體鹵化物。
1979年西德Lambda Physik公司生產(chǎn)出第1臺商業(yè)用準(zhǔn)分子激光器。
迄今為止已經(jīng)發(fā)現(xiàn)的能夠產(chǎn)生準(zhǔn)分子激光的氣體有10多種。
產(chǎn)品名稱:準(zhǔn)分子激光氣體(Excimer Laser Gases)
其他名稱:氟化ya激光氣體(193nm);氟化ke激光氣體(248nm);氯化氙激光氣體(308nm)
工業(yè)技術(shù)的升級轉(zhuǎn)型需要平衡日益增長的性能需求與加工速度及制造成本之間的矛盾。準(zhǔn)分子激光的誕生,準(zhǔn)分子預(yù)混氣公司,以其高光子能量所稱著,在對突破材料限制需求越來越迫切的時(shí)代,準(zhǔn)分子激光器再次站在了尖端工業(yè)激光解決方案的前沿。作為當(dāng)今較有效、較可靠的脈沖紫外激光技術(shù)的代表,準(zhǔn)分子激光器有效地1推進(jìn)了諸如半導(dǎo)體、AMOLED平板顯示、薄膜、硅底板加工、有機(jī)金屬沉淀、高溫超導(dǎo)、刻蝕、材料研究、汽車制造、生物醫(yī)1療、光纖、鉆石打標(biāo)設(shè)備及可替代能源等多種成長型工業(yè)中的技術(shù)革新。
準(zhǔn)分子是一種半衰期非常短暫的分子狀態(tài),準(zhǔn)分子預(yù)混氣廠家,由同種原子或者異種原子組合而成。其中一種原子的價(jià)電子層必須是全滿的(比如稀有氣體)。如果兩種原子都處于基態(tài),它們是不能形成化學(xué)鍵的。但如果價(jià)電子全滿的那個(gè)原子處于激發(fā)態(tài),它們之間就能夠暫時(shí)形成化學(xué)鍵。盡管這種化學(xué)鍵的壽命往往非常短,只在納秒的量級。準(zhǔn)分子可以通過自發(fā)輻射或受激輻射,釋放出光子回到基態(tài),基態(tài)的分子更加不穩(wěn)定,經(jīng)過幾個(gè)皮秒的時(shí)間,衰變成兩個(gè)未成鍵的原子。
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