特種氣體的運(yùn)輸
算出運(yùn)輸量
關(guān)于高壓氣體的運(yùn)輸規(guī)則,根據(jù)其運(yùn)輸量而有所不同。其運(yùn)輸量,可用如下方法算出。
(1)運(yùn)輸量的計(jì)算
運(yùn)輸量的計(jì)算是用一個(gè)容器的氣體充填量乘上車上裝載的容器個(gè)數(shù)。
容器的充填量,壓縮氣體用米3表示,特種氣體生產(chǎn)廠家,液化氣體用公斤表示。
壓縮氣體 容器內(nèi)容積(升)×充填壓力(公斤/厘米2 )/1000=米3
液化氣體 容器的充填質(zhì)量(公斤)。
特種氣體間 speciality gas room是指在電子生產(chǎn)廠房放置特種氣瓶柜、氣瓶架、尾氣處理裝置、氣瓶集裝格等氣體設(shè)備,并通過管道向用氣設(shè)備輸送特種氣體的房間。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程不可缺少的基硅性支撐源材料。它的純度和潔凈度直接影響到光電子。
特種氣體的分類
特種氣體的分類方式很多種,例如按照氣體本身化學(xué)成分可分為:硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。按照在集成電路中的作用可分為摻雜氣體、外延氣體、離子注入氣體、發(fā)光二極管用氣體、刻蝕氣體、化學(xué)氣相沉積(CVD)用氣體、載運(yùn)稀釋氣體七類。同時(shí),贛州特種氣體,以上分類存在交叉,高純度特種氣體公司,例如四氯1化硅(SiCl4)既屬于硅系氣體,又屬于外延氣體,同時(shí)在化學(xué)氣相沉積(CVD)中也存在應(yīng)用。
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