目前準分子激光已廣泛應用在臨床醫(yī)學以及科學研究與工業(yè)應用方面,如:鉆孔、標記表面處理、激光化學氣相沉積,物理氣相沉積,磁頭與光學鏡片和硅晶圓的清潔等方面,微機電系統(tǒng)相關的微制造技術.所謂準分子激光,是指受激二聚體所產(chǎn)生的激光。之所以產(chǎn)生稱為準分子,是因為它不是穩(wěn)定的分子,是在激光混合氣體受到外來能量的激發(fā)所引起的一系列物理及化學反應中曾經(jīng)形成但轉(zhuǎn)瞬即逝的分子,其壽命僅為幾十毫微秒?!史肿蛹す鈿夥诸惣坝猛荆簹馐谴髿庵械囊环N無色、無嗅、無味、無毒的稀有惰性氣體,在大氣中的含量約為0.93%. 氣廣泛應用于霓虹燈、激光、白熾燈、熒光燈、電子管、窗戶隔熱、焊接以及半導體等方面。不同純度的氣可作特殊的工業(yè)用途。
準分子激分類及用途:氙是一種無色、無嗅、無味、無毒的惰性氣體,以氣態(tài)形式貯運,應用于準 分子激光器、電燈泡、窗戶隔熱、離子推進、及實驗研究等方面。準分子激光屬于冷激光,無熱效應,是方向性強、波長純度高、輸出功率大的脈沖激光,光子能量波長范圍為157-353納米,壽命為幾十毫微秒,屬于紫外光。準分子激分類及用途:氦-3是比普氦較輕的的同位素,無色、無嗅、無味,天然的氦-3含 量1.38x10-6。氦-3主要以氣態(tài)方式貯運,應用于探測器、 Spectra學、低溫物理、激光、低溫超導和實驗室研發(fā)方面。
準分子激光首先被應用在工業(yè)上:美國IBM公司開始使用并且改進準分子激光技術,主要應用在計算機芯片的制造以及塑料物質(zhì)上蝕刻準的圖形。準分子激光是氟氫氣體混合后經(jīng)激發(fā)產(chǎn)生一種人眼看不見的超紫外線的光束,屬冷激光,能精準消融人預計要除掉部分,而不損傷周圍組織和其他組織,它的效果是久性的。準分子激分類及用途:含氟準分子激體。準分子激是多組份混合氣體,其輸出波長是稀有氣體(或鹵素)結合作用的結果。準分子是稀有氣體(或鹵化物)的分子的名稱。通過含氟準分子激體能產(chǎn)生四種波長的光波(或譜線)。
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